工作职责:
1、负责微纳器件干法刻蚀工艺的开发与优化;
2、使用量测工具,分析数据,解决工艺异常;
3、负责刻蚀设备(ICP-RIE、RIE)的日常维护与保养,记录设备运行状态,配合维修团队处理设备故障,保障设备稳定;
4、编写工艺规范、操作手册,开展团队技术培训。
任职资格:
1、硕士及以上学历,微电子、半导体材料、物理、化工等相关专业;
2、具有3年及以上微纳科研平台或产线工作经验,有半导体芯片、MEMS器件、光电子器件刻蚀经验者优先;
3、熟悉硅基及金属等材料蚀刻原理和设备操作,能独立优化刻蚀参数和使用检测设备分析工艺异常;
4、具备强实验设计、数据分析及问题解决能力,良好协作与沟通能力,有责任心与创新意识;
5、熟悉Sentech/Oxford机型优先。